2-100nm XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀

具有高分辨率和效率的多功能光譜儀

隨著在半導(dǎo)體制造中使用 13.5 nm輻射的 EUV 光刻技術(shù)的發(fā)展，極紫外輻射（EUV、XUV）已成為一個(gè)重要的工業(yè)意義。這導(dǎo)致對(duì)高分辨率和靈敏的診斷和測(cè)量技術(shù)的需求。因此，我們構(gòu)建了一個(gè)模塊化的 XUV / EUV 和軟 X 射線光譜儀，可用于等離子體光譜學(xué)、源診斷和計(jì)量學(xué)。它te別適用于激光等離子體源（LPS）和高次諧波源（高次諧波產(chǎn)生high harmonic generation，HHG）。

該光譜儀設(shè)計(jì)靈活，適用于多種應(yīng)用。對(duì)于廣泛的幾何形狀，可以獲得非常高的光譜分辨率。通常，分辨率僅受檢測(cè)器系統(tǒng)像素大小的限制（XUV CCD 為 13.5 µm）。光譜儀的所有部件都是 UHV 級(jí)的。

2-100nm XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀

公司簡(jiǎn)介

筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司成立于2014年，是一家被上海市評(píng)為高新技術(shù)企業(yè)和擁有“上海市專精特新企業(yè)稱號(hào)"的專業(yè)光學(xué)服務(wù)公司，業(yè)務(wù)涵蓋設(shè)備代理以及項(xiàng)目合作研發(fā)，公司位于大虹橋商務(wù)板塊，擁有接近2000m2的辦公區(qū)域，建有500平優(yōu)良的AOL(Advanced Optical Labs)光學(xué)實(shí)驗(yàn)室，為國(guó)內(nèi)外客戶提供專業(yè)技術(shù)支持服務(wù)。公司主要經(jīng)營(yíng)光學(xué)元件、激光光學(xué)測(cè)試設(shè)備、以及光學(xué)系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)。十年來(lái)，依托專業(yè)、強(qiáng)大的技術(shù)支持，以及良好的商務(wù)支持團(tuán)隊(duì)，筱曉的業(yè)務(wù)范圍逐年增長(zhǎng)。目前業(yè)務(wù)覆蓋國(guó)內(nèi)外各*高校、*科研機(jī)構(gòu)及相關(guān)領(lǐng)域等諸多企事業(yè)單位。筱曉擁有一支核心的管理團(tuán)隊(duì)以及專業(yè)的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，奠定了我們?cè)谠O(shè)備的拓展應(yīng)用及自主研發(fā)領(lǐng)域堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

公司自成立以來(lái)，始終遵循行業(yè)、誠(chéng)信發(fā)展、探索創(chuàng)新、務(wù)實(shí)致遠(yuǎn)、以質(zhì)取勝的服務(wù)理念，并在產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和銷售中貫徹到底。公司自始至終秉承著國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的質(zhì)量安全保障。多年來(lái)，公司一直致力于光學(xué)設(shè)備的設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)，以及知識(shí)產(chǎn)權(quán)的保護(hù)。我們將不斷完善管理機(jī)制和技術(shù)水平，為客戶提供更安全環(huán)保的產(chǎn)品以及更優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。