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一、研究背景光刻機是目前集成電路芯片制造的備工具，照明系統(tǒng)是光刻機的核心分系統(tǒng)之一，為掩模面提供均勻照明、控制曝光劑量并實現(xiàn)不同的照明模式。其中，勻光單元用于實現(xiàn)照明均勻化，其設(shè)計直接影響照明系統(tǒng)乃至光刻機的性能。用于光刻機照明系統(tǒng)的勻光元件有積分棒、微透鏡陣列（MLA）、衍射光學元件（DOE）等。由于衍射損耗，DOE的使用僅限于小角度，并降低了傳輸效率，因此不常用于光刻機勻光單元。積分棒結(jié)構(gòu)簡單，加工難度和成本較低，但在小數(shù)值孔徑情況下需要非常大的長寬比才能達到較好的勻光效...

1、智能化激光制造裝備1.1光束調(diào)控如何獲得高質(zhì)量、高精度的激光是激光技術(shù)基礎(chǔ)研究和應用研究中廣受關(guān)注的課題，而人工智能算法正是實現(xiàn)激光光束質(zhì)量預測和調(diào)控的有效手段。針對現(xiàn)有簡單仿真模型對復雜光學系統(tǒng)預測能力不足的問題，哈爾濱工業(yè)大學劉國棟團隊將深度神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)與Frantz-Nodvik方程相結(jié)合，提出了一種優(yōu)于傳統(tǒng)擬合方法的大功率ICF激光系統(tǒng)中主放大器輸出能量預測新方法（圖1）。國防科技大學周樸團隊不僅利用深度學習技術(shù)實現(xiàn)了少模光纖激光器光束傳播因子M2的準確預測，還通過深...

研究背景超短激光脈沖燒蝕具有熱影響區(qū)小、精度高等優(yōu)勢，在透明材料微加工中已得到廣泛研究和應用；基于脈沖序列模式的超短脈沖激光是進一步提高材料去除效率和質(zhì)量的有效手段。脈沖序列模式的子脈沖重復頻率常為~MHz，通過控制燒蝕與熱積累等效應，顯著提升了燒蝕效率。為了追求更高的加工效率，近年來，重頻GHz的脈沖序列激光燒蝕加工成為研究熱點。GHz子脈沖間隔小于1ns，能夠同時實現(xiàn)對電子動力學過程和能量沉積分布的精密調(diào)控，從而實現(xiàn)燒蝕機理和效應的控制和優(yōu)化。GHz脈沖序列激光微加工研究...

鎖模激光器在很多領(lǐng)域已經(jīng)獲得了廣泛應用，例如光學頻率梳、精密制造、光纖通信、激光雷達等。鎖模光纖激光器作為一個便捷的桌面化非線性系統(tǒng)，在基礎(chǔ)科學領(lǐng)域也發(fā)揮著重要作用，例如鎖模光纖激光器為非線性科學研究提供了理想的平臺。由于鎖模激光器中存在復雜的鎖模區(qū)間，如何控制激光器的參數(shù)進而訪問特定的鎖模態(tài)是一個頗具挑戰(zhàn)性的難題。以常用的基于非線性偏振旋轉(zhuǎn)鎖模技術(shù)的飛秒光纖激光器為例，其在數(shù)學上是一個多維參量空間，實驗上需要調(diào)諧至少7個參量（泵浦、損耗、色散、非線性和三個波片角度）才能遍歷...

在激光技術(shù)日益滲透現(xiàn)代科技各個領(lǐng)域的今天，無論是精準的醫(yī)療手術(shù)、高效的工業(yè)加工，還是高速的光纖通信，其背后都離不開一位至關(guān)重要的“幕后指揮官”——激光控制驅(qū)動器。它雖不直接發(fā)光，卻是決定激光性能、保障安全運行的核心大腦與動力心臟。一、核心作用：精準的能量調(diào)控與輸出保障激光控制驅(qū)動器本質(zhì)上是一種為激光器提供精確電流和電壓的電子設(shè)備。它的核心使命是確保激光器能夠穩(wěn)定、高效且安全地輸出符合要求的光束。其首要作用是提供穩(wěn)定且可精確調(diào)節(jié)的驅(qū)動電流。激光二極管的輸出光功率對驅(qū)動電流的變化...

一、背景介紹激光具有亮度高、單色性好、方向性好等優(yōu)點，經(jīng)過六十余年的發(fā)展，已經(jīng)廣泛應用于科學研究、醫(yī)療衛(wèi)生、先進制造、**等諸多領(lǐng)域。然而，由于物理、材料、器件、工藝等方面因素的限制，激光系統(tǒng)性能提升面臨的挑戰(zhàn)越來越大；與此同時，科學研究、先進制造、**等應用場景對激光器的性能提出了越來越高的要求，如何進一步優(yōu)化提升激光性能、實現(xiàn)激光特性的精準調(diào)控是亟待解決的問題。得益于人工智能（AI）及相關(guān)技術(shù)的快速進步，AI技術(shù)在激光系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計、光束控制以及特性表征等方面取得了良好的運...

作為一種高性能光源，激光器在工業(yè)生產(chǎn)、科學研究中占據(jù)著重要的地位，其所產(chǎn)生的激光已經(jīng)被廣泛應用于加工、測量、通信、醫(yī)療等領(lǐng)域。近年來，人們注意到激光器本身也可作為一個有力的計算工具，這是因為：一方面，激光器在混沌振蕩、弛豫振蕩等非穩(wěn)態(tài)過程中的隨機性和非線性可用于完成復雜計算任務(wù)；另一方面，在沒有外界干擾的情況下，激光腔內(nèi)的光場經(jīng)過模式競爭等物理過程能夠自發(fā)演化至一個損耗的穩(wěn)定振蕩狀態(tài)，該振蕩狀態(tài)也可映射至一個復雜計算問題的解。隨著光計算領(lǐng)域的蓬勃發(fā)展，結(jié)合日趨成熟的各類激光產(chǎn)...

在日常生活中，激光技術(shù)已經(jīng)無處不在——從超市掃碼槍到醫(yī)療美容，從光纖通信到工業(yè)切割。然而，在科研和應用領(lǐng)域，普通激光器的性能還遠遠不夠。想象一下，如果激光的頻率總是飄忽不定，就像唱歌走調(diào)的歌手，那么依賴激光進行精密測量的科學家將會多么頭疼。這就是為什么我們需要激光穩(wěn)頻技術(shù)——讓激光的頻率「穩(wěn)如泰山」。在眾多穩(wěn)頻技術(shù)中，Pound-Drever-Hall（PDH）技術(shù)憑借其性能脫穎而出，成為當今主流的激光穩(wěn)頻方案之一。PDH技術(shù)得名于三位物理學大師：Pound、Drever和H...